Kéttengelyes márvány lineáris motormodul

Ez a 00-as fokozatú gránit alapra épült (amelyet alacsony hőtágulási együtthatója és rezgéscsillapító tulajdonságai miatt választottak), ez a kéttengelyes márvány lineáris motormodul két nagy teljesítményű lineáris motortengelyt integrál légcsapágyazott vezetőkkel, hogy ±0,5 μm ismétlési pontosságot biztosítson – ideális a félvezető-vizsgálathoz, a lézeres mikroelektronikai világításhoz és a precíziós mérésekhez. rendszerek.

Az alumínium vagy acél alapú kéttengelyes fokozatok (hősodródás, vibráció, alacsony merevség) korlátainak kezelésére tervezett kéttengelyes márvány lineáris motormodulunk kiküszöböli a mechanikai deformációt nagy sebességű mozgás közben (tengelyenként akár 2 m/s), és állandó pontosságot biztosít az üzemi hőmérsékleteken (-10 ℃ és 40 ℃ között). Az X-Y tengely szinkronvezérlő rendszere (EtherCAT-alapú) nanométer szintű mozgásszinkronizálást tesz lehetővé, ami kritikus az olyan ultraprecíziós folyamatokhoz, mint a 7nm-es chipcsomagolás, a mikro-optikai alkatrészek gyártása és a fejlett 3D mérés.

Az ISO 9001:2015 és ISO 10110 optikai minőségi szabványok szerint gyártott kéttengelyes márvány lineáris motormodul lezárt kábelkezelő rendszerrel, antisztatikus bevonattal és vákuummal kompatibilis opciókkal (félvezető tisztatéri használatra) rendelkezik. Kompatibilis az iparágban vezető mozgásvezérlőkkel (Aerotech, PI, Newport) és metrológiai rendszerekkel (Renishaw lézeres interferométerek), zökkenőmentesen integrálható az ultraprecíziós gyártósorokba, akár 20%-kal javítva a folyamat hozamát a hagyományos fémbázisú kéttengelyes fokozatokhoz képest.

Termék sorozat

DT-GM-DX1 sorozat (kompakt precíziós)

X-Y mozgási tartomány: 100×100 mm-től 500×500 mm-ig, ±0,5 μm ismétlési pontosság, 1 m/s maximális sebesség tengelyenként. Ideális mikro-optikai alkatrészek megmunkálásához, precíziós metrológiához, kis formátumú félvezető csomagoláshoz.

DT-GM-DX2 sorozat (középkategóriás, nagy sebességű)

X-Y mozgási tartomány: 500×500 mm és 1000×1000 mm között, ±1 μm ismétlési pontosság, tengelyenként 2 m/s max. Alkalmas lézeres mikromegmunkáláshoz, LCD panel javításhoz, közepes formátumú optikai ellenőrzéshez.

DT-GM-DX-VAC sorozat (vákuumkompatibilis)

X-Y utazási tartomány: 100×100 mm és 800×800 mm között, ±0,5 μm ismétlési pontosság, vákuumérték 10⁻⁶ mbar. Félvezető tisztatéri alkalmazásokhoz, vákuumbevonatokhoz és térszimulációs rendszerekhez tervezték.

Alapvető előnyei

1. 00-as fokozatú gránit alap a páratlan stabilitásért

A természetes 00-as fokozatú gránitból készült (hőtágulási együttható ≤0,5×10⁻⁶/℃), az alap kivételes hőstabilitást (≤0,001mm/℃) és rezgéscsillapítást biztosít (a nagyfrekvenciás rezgések 80%-át csillapítja). Ez kiküszöböli a hősodródást és a mechanikai rezonanciát – amelyek a fémalapú szakaszok gyakori problémái – az ultraprecíziós gyártási folyamatokban.

2. Szub-mikron pontosság légcsapágyvezetőkkel

Az integrált légcsapágyas lineáris vezetők (a hagyományos golyóscsapágyak helyett) kiküszöbölik a súrlódást és a kopást, így ±0,5 μm-es ismétlődő pozicionálási pontosságot és 1 nm-es felbontást érnek el (a Renishaw abszolútkódolóin keresztül). Az érintésmentes kialakítás több mint 100 millió cikluson keresztül biztosítja a karbantartásmentes működést, ami kritikus a nagy volumenű, ultraprecíziós gyártáshoz.

3. X-Y tengely szinkron mozgásvezérlés

Az EtherCAT alapú valós idejű mozgásvezérlés nanométer szintű szinkronizálást tesz lehetővé X és Y tengely között (szinkronizálási hiba ≤50nm), támogatja a lézeres mikromegmunkáláshoz és optikai mintázatokhoz szükséges összetett mozgásprofilokat (körinterpoláció, spirálszkennelés). A nyílt architektúra kompatibilis a harmadik féltől származó mozgásszoftverrel (LabVIEW, MATLAB).

4. Nagy merevség és alacsony deformáció

A megerősített gránitszerkezet integrált bordázattal ≥300N/μm merevséget biztosít, minimálisra csökkentve a dinamikus terhelések alatti elhajlást (tengelyenként 50 kg-ig). Ez a stabilitás egyenletes pontosságot biztosít még nagy sebességű (1g) gyorsítás során is, csökkentve a folyamatok változásait és javítva a termékhozamot.

5. Ultra-precíziós alkalmazásokhoz testreszabható

Az utazási tartomány (100 × 100 mm és 1000 × 1000 mm között), a kódoló felbontása (1 nm - 1 μm), a vákuumkompatibilitás (10-10-10-10 mbar) és a felületi minőség (Ra ≤0,02 μm) teljes testreszabása. Az opcionális funkciók közé tartozik az antisztatikus bevonat, a tisztatérrel kompatibilis anyagok és az integrált lézeres interferometria a helyszíni kalibráláshoz.

6. Ipari szintű megbízhatóság tisztatéri használatra

Az IP67 védelmi fokozat (standard) / IP68 (vákuum változat), az antisztatikus bevonat (10⁶-10⁹ Ω/nm) és az alacsony részecskekibocsátás (1. osztályú tisztatérnek megfelelő) alkalmassá teszi félvezető gyárak és optikai gyártás tisztatereihez. MTBF ≥40 000 óra folyamatos működés mellett, ami 5 év alatt 30%-kal csökkenti a teljes birtoklási költséget (TCO).

Műszaki előírások

Gránit alap (00-as fokozat) ±0,5 μm ismételt pozicionálási pontosság X-Y tengely szinkron mozgás, termikus stabilitás (≤0,001 mm/℃) nagy merevség (≥300 N/μm)

Alkalmazási forgatókönyvek

A Deaote kéttengelyes márvány lineáris motormoduljait ultraprecíziós gyártásra tervezték a globális high-tech szektorokban:

● Félvezető és mikroelektronika: 7 nm/5 nm-es chip-csomagolás, lapkák ellenőrzése, litográfiai igazítás, MEMS-eszközök gyártása

● Optikai gyártás: Mikro-optikai alkatrészek megmunkálása (lencsék, prizmák), száloptikai tömb összeállítás, üveghordozók lézeres mintázása

● Precíziós metrológia: 3D optikai mérés, koordináta mérőgép (CMM) mozgási szakaszai, nanométer szintű felületi profilalkotás

● Lézeres mikromegmunkálás: Lézeres abláció, mikrofúrás, kemény anyagok (szilícium, zafír, kerámia) precíziós gravírozása

● Repülés és védelem: mikroszenzorgyártás, inerciális navigációs komponensek kalibrálása, műholdas optikai rendszer összeszerelés

Deaote-ról

A Suzhou Deaote Precision Mold Co., Ltd. egy vezető csúcstechnológiai vállalkozás, amely az ultraprecíziós mozgástechnikai alkatrészek kutatás-fejlesztésére, gyártására és értékesítésére szakosodott – a gránitalapú lineáris motormodulokra összpontosítva a globális félvezető-, optikai- és repülőgép-piacokon. A precíziós szerszámok és az ultraprecíziós mozgórendszerek tervezése terén szerzett több mint 15 éves szakértelemmel Európa, Észak-Amerika, Japán és Korea ügyfeleit szolgáljuk ki a csúcskategóriás gyártási ágazatokban.

A kéttengelyes márvány lineáris motormoduljainkat speciális, ultra-precíziós mozgástechnikai kutatás-fejlesztési laboratóriumunkban fejlesztettük ki, fejlett gránitmegmunkálási (±0,001 mm-es tűrés), lézeres kalibrálási és légcsapágy-összeszerelési technológiákat használva a mikron alatti pontosság elérése érdekében. Teljes körű testreszabási szolgáltatásokat nyújtunk – a modultervezéstől és prototípus-készítéstől a helyszíni kalibrálásig és a globális műszaki támogatásig – biztosítva, hogy megoldásaink megfeleljenek az ultraprecíziós gyártósorok egyedi követelményeinek.

A "Nanométeres pontosság, egy életre szóló stabilitás" mellett elkötelezett Deaote éves bevételének 20%-át K+F-be fekteti a következő generációs ultraprecíziós mozgási megoldások kifejlesztésére. ISO 9001:2015 és ISO 10110 tanúsítvánnyal rendelkező gyártóüzemünk és globális szervizhálózatunk gyors válaszidőt (≤48 óra) és helyi műszaki támogatást biztosít, így világszerte a csúcskategóriás ultraprecíziós berendezések gyártóinak megbízható partnerévé válunk.