Ostya tesztelése

A Deaote több mint 15 éves precíziós szerszám- és mozgóalkatrész-gyártási tapasztalatára épülő ostyatesztelés merev gránit alappal, termikusan stabilizált szerkezettel és rezgéscsillapító kialakítással rendelkezik, hogy egyenletes teljesítményt biztosítson tisztatéri környezetben (100/1000 osztály). Támogatja a zökkenőmentes integrációt ostyapróbákkal, optikai mikroszkópokkal, ATE (Automatic Test Equipment) rendszerekkel és adatgyűjtő eszközökkel, így ideális logikai chipek, memóriaeszközök, teljesítmény-félvezetők és összetett félvezetők (GaAs, SiC, GaN) kutatás-fejlesztéséhez és nagy volumenű gyártási teszteléséhez.

Az ostyatesztelés moduláris felépítése lehetővé teszi az utazási tartományok, a sebesség/gyorsulási paraméterek és a vezérlő interfészek (GPIB, USB, Ethernet) teljes testreszabását, hogy megfeleljenek az adott wafertesztelési munkafolyamatoknak. Megoldásunk lehetővé teszi a félvezetőgyártók számára, hogy nagyobb vizsgálati pontosságot érjenek el, csökkentsék a hamis meghibásodási arányokat és javítsák az átviteli sebességet – ez kritikus fontosságú a következő generációs félvezető eszközök miniatürizálási és teljesítményigényeinek kielégítéséhez.

Alapvető előnyei

1. Sub-Micron 4 tengelyes igazítási pontosság

A nagy felbontású lineáris kódolókkal (0,05 μm felbontás) és a Theta tengelyhez való közvetlen meghajtású nyomatékmotorokkal felszerelve a platform ±0,5 μm ismétlődő pozicionálási pontosságot (X/Y), ±1 μm abszolút pontosságot (X/Y), ±2 μm Z-tengely pozicionálási pontosságot ±2 μm, accura.0 tengely 0,1° angular.0. Ez biztosítja a szelet matricák és a tesztszondák/ellenőrző optikák közötti pontos igazítást, kiküszöbölve az eltolódásból eredő hibákat az elektromos jellemzésben és az optikai ellenőrzésben.

2. Nagy sebességű és stabil mozgásvezérlés

Az optimalizált mozgásvezérlő algoritmusok és a légcsapágyazású vezetőpályák nagy sebességű mozgást tesznek lehetővé (X/Y maximális sebesség: 150 mm/s, Z-tengely maximális sebessége: 50 mm/s) ultraalacsony beállási idő mellett (≤30 ms X/Y esetén, ≤50 ms Z esetén). Az érintésmentes hajtómechanizmus kiküszöböli a mechanikai kopást és a holtjátékot, folyamatos mozgásstabilitást biztosítva több millió cikluson keresztül – ez elengedhetetlen a nagy áteresztőképességű lapkák teszteléséhez (akár 2500 darab per óra).

3. Hőstabil és rezgéscsillapító kialakítás

A természetes gránit alapból (hőtágulási együttható ≤0,5 × 10⁻⁶/℃) és aktív rezgéscsillapító rendszerrel készült platform minimálisra csökkenti a hőmérséklet-ingadozások (≤0,1 μm/℃) és a külső rezgések által okozott pozíciósodródást. A Z-tengely precíziós golyóscsavar-meghajtással rendelkezik, előterhelés-kompenzációval a stabilitás megőrzése érdekében a függőleges pozicionálás során, ami kritikus a szonda érintkezési erőjének szabályozásához (0,1 g-tól 100 g-ig) a lapkateszteknél.

4. Széles ostya kompatibilitás és rugalmasság

Az ostyatesztelés a 4 hüvelyktől 12 hüvelykig terjedő ostyaméreteket támogatja, állítható vákuumtokmányokkal és automatikus központosító mechanizmusokkal, nincs szükség egyedi rögzítő cserére. 50 μm és 800 μm közötti szeletvastagságot képes kezelni, és kompatibilis a csupasz ostyákkal, mintázott ostyákkal és ostyaszintű csomagokkal (WLP), alkalmazkodik a különböző félvezető tesztelési igényekhez (DC parametrikus tesztelés, RF tesztelés, optikai ellenőrzés).

5. Tisztatérrel kompatibilis és alacsony karbantartási igény

A 100-as osztályú tisztatéri működésre tervezték, az ostyatesztelés HEPA-szűrővel ellátott, zárt burkolattal rendelkezik, amely megakadályozza az ostyák és a tesztberendezések részecskeszennyeződését. Az IP54-es védettség és a kenésmentes légcsapágyazott alkatrészek csökkentik a karbantartási igényeket, és normál üzemi feltételek mellett ≥35 000 órára növelik az MTBF-et (Mean Time Between Failures).

6. Egyszerű integráció és testreszabás

Az ipari szabványos vezérlőszoftverekkel és kommunikációs protokollokkal (GPIB, RS232, Ethernet/IP) kompatibilis platform zökkenőmentesen integrálható a meglévő wafer tesztrendszerekkel. A Suzhou Deoute az utazási tartományok (X/Y: 100 × 100–300 × 300 mm; Z: 50–150 mm), a théta tengely forgási tartománya (±5° és ±10°) és a tokmányhőmérséklet-szabályozás (-40 ℃ és 200 ℃ között) teljes testreszabását kínálja az egyedi vásárlói igények kielégítésére.

Műszaki előírások

Alkalmazási forgatókönyvek

A 4 tengelyes lapkák tesztelésére és ellenőrzésére tervezett XYZT platformunkat széles körben használják a következő félvezető alkalmazásokban:

● Wafer Probing: Logikai chipek, DRAM/NAND memóriaeszközök és teljesítmény félvezetők (MOSFET, IGBT) elektromos jellemzése (DC/AC/RF)

● Optikai ellenőrzés: lapkaszintű hibaérzékelés, mintázatigazítás és metrológia a fejlett félvezetőgyártáshoz

● Megbízhatósági tesztelés: Magas/alacsony hőmérsékletű ciklus, beégési tesztelés és összetett félvezetők (GaAs, SiC, GaN) élettartam jellemzése.

● Wafer-Level Packaging (WLP): ostyaszintű csomagolások igazítása és ragasztása szórakoztató elektronikai és autóipari alkalmazásokhoz

● K+F tesztelés: Új félvezető-tervek prototípusa és validálása laboratóriumi környezetben (testreszabható kis tételes teszteléshez)

Deaote-ról

A Suzhou Deaote Precision Mold Co., Ltd. egy vezető high-tech vállalkozás, amely precíziós mozgási platformok, egyedi öntőformák és félvezető-vizsgáló alkatrészek kutatás-fejlesztésére, gyártására és értékesítésére szakosodott. A precíziós gyártás területén szerzett több mint 15 éves tapasztalatunkkal globális ügyfeleket szolgálunk ki a félvezető-, elektronikai- és ipari automatizálási szektorban Európában, Észak-Amerikában, Ázsiában és azon túl.

XYZT ellenőrző mozgásplatformunk a precíziós formatervezés és a mozgásvezérlés terén szerzett alapvető kompetenciáinkat kamatoztatja, hogy megbirkózzanak a félvezető lapkák tesztelésének egyedi kihívásaival. Teljes körű megoldásokat kínálunk – az egyedi platformtervezéstől és prototípuskészítéstől a helyszíni telepítésig, kalibrálásig és az élettartamra szóló műszaki támogatásig –, amelyek biztosítják, hogy termékeink megfeleljenek a legszigorúbb ipari precizitási és megbízhatósági szabványoknak.

A "Precision Drives Progress, Innovation Creates Value" mellett elkötelezett Deaote ISO 9001:2015 tanúsítvánnyal rendelkezik, és éves bevételének 15%-át K+F-be fekteti, hogy új generációs mozgási megoldásokat fejlesszen ki a félvezetőipar számára. Globális szervizhálózatunk gyors válaszidőt és helyi támogatást biztosít nemzetközi ügyfeleink számára.